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      硬科技落地 山東打造8英寸碳化硅襯底生產基地
      2024年03月25日 16:54 來源:科技日報

        “朋友圈”發力 硬科技落地——山東打造8英寸碳化硅襯底生產基地

        ◎本報記者 王延斌

        3月20日,廣州南砂晶圓半導體技術有限公司(以下簡稱“南砂晶圓”)計劃在距離廣州大本營1800公里之外的濟南,打造全國最大的8英寸碳化硅襯底生產基地。這與山東省委省政府頂層設計、產業布局以及招商者魯信創業投資集團股份有限公司(以下簡稱“魯信創投”)密切相關。

        核心競爭力引來“合伙人”

        碳化硅是制作高溫、高頻、大功率高壓器件的理想材料之一?!疤蓟枰r底可突破傳統硅基半導體器件及其材料的物理極限,開發出新一代半導體器件?!蹦仙熬A董事長王垚浩表示,碳化硅功率器件在新能源汽車中的滲透率正在快速提升。

        在需求驅動下,國內各地已涌現出一批優質企業。在碳化硅襯底賽道上,創業者一方面擁抱爆發的市場需求,另一方面挑戰材料質量、工藝難度、良品率等技術難題和壁壘。

        2018年,依托山東大學晶體材料研究院徐現剛教授團隊的科研成果,南砂晶圓在廣州成立。此后,該企業突破了碳化硅單晶生長及襯底制備技術。但此領域的競爭,光有突破性技術還不夠,高投入也是一道門檻。

        “僅一臺加工或檢測設備便高達千萬元?!蓖鯃惡普f。手握技術,資金何來?魯信創投帶著“朋友圈”出現了?!皠撔履芰ν怀?、成長空間可觀”,這是魯信創投副總經理葛效宏對南砂晶圓的評價。近年來,魯信創投對半導體尤其是碳化硅行業,早已進行了涵蓋核心耗材、襯底生產等全產業鏈布局。

        2021年5月,魯信創投成為南砂晶圓A輪融資領投方,投資逾億元。在魯信創投全力支持下,南砂晶圓的成果加速迭代——2021年,啟動導電型襯底研發;2022年,行業率先研發出8英寸襯底并完成客戶驗證;2023年,導電型襯底進入批量供貨階段。

        “產業+企業+地方”朋友圈越變越大

        如何迅速提升產能,打破碳化硅襯底“一片難求”的供給現狀?這是王垚浩和“合伙人”魯信創投共同面對的問題。

        “高質量招商引資是建設現代化產業體系的有效路徑,是鞏固和增強經濟回升向好態勢的關鍵舉措,是增強發展后勁的有力抓手?!痹诮衲辍靶麓旱谝粫鄙?,山東省委書記林武表示。

        彼時,山東省做出規劃,明確要“打造百億級國家第三代半導體產業高地”,并向業界發出了“邀請函”。

        “我們全程參與了南砂晶圓擴產計劃的醞釀、討論、調研及最后敲定,第一時間掌握消息”。葛效宏團隊評估后認為,山東有產業基礎與潛力,引入南砂晶圓,將實現多贏。

        為了在產業需求、企業訴求、地方要求上打造一個共贏方案,魯信創投邀請南砂晶圓加入了山東半導體產業“朋友圈”。

        得益于魯信創投的全產業鏈資源,南砂晶圓在濟南新注冊成立了山東中晶芯源半導體科技有限公司,能夠對接更多關鍵材料提供方及上下游供應商,使其99%的原材料、95%的主要設備實現了國產化。

        “目前,我們90%以上的資金投入‘硬科技’領域,已成功培育了一批新材料、高端制造等領域的行業龍頭企業?!濒斝艅撏饵h委書記、董事長王旭冬表示,下一步我們將圍繞山東產業發展現有基礎及戰略布局,對接更多龍頭企業、重點工業企業來山東投資。(王延斌)

      編輯:孫婷婷
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